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项目

参数

丈量范畴

X轴驱动器

100mm

Z1（传感器）

粗度和表面共用

40mm

立柱高度

450mm

丈量精度

X轴

（L=X轴挪动导轨间隔）

±(0.8+0.002L)μm

Z1轴

（H=Z1轴偏向丈量高度）

±(0.6+0.005H)μm

残值噪声

≤0.005μm

示值偏差

±5%

示值波动性

≤±7%

反复性

1δ≤2nm

角度

≤±1′

圆弧

（R=尺度圆弧值）

≤±(1.0+R/12)μm

X轴

直线度

0.6μm /100mm

辨别率

0.05μm

产地

美国MicroE

传感器

范例

光栅传感器

辨别率

0.01μm

产地

美国MicroE

评定长度

λc×3、4、5、6、7

停止波长

0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm

爬坡角度

上升77°， 降落88°

丈量速率

0.02mm至4.0mm/s

丈量方法

传感器挪动