产品设置装备摆设
技能参数
序号
内容

主机仪器架# 一体式人体工学机台# 直线导轨驱动器# 电动立柱# 光栅传感器# 程度调解体系（表面尺寸：250*180*40mm；调解范畴：15mm）# 反转展转及角度调试体系（360度旋转；±25角度倾斜）# 平口装夹体系 Fixture（闭口宽：50mm；闭口深25mm）# 测头与测杆（Ф3*21mm R25μm 12°单切面测针；Ф1*10mm R2μm 60°粗度测针；Ф8*150mm 测杆）# 电器控制体系# 品牌电脑# HP喷墨打印机# 丈量软件# 利用阐明书# 产品保修卡# 产品装箱单# 及格证# 设置装备摆设验收单# 东西箱

项目

参数

丈量范畴

X轴驱动器

200mm

 

Z1（传感器）

粗度和表面共用

60mm

 

立柱高度

500mm

指示精度

X轴

（L=X轴挪动导轨间隔）

±(0.8+0.01L)μm

 

Z1轴

（H=Z1轴偏向丈量高度）

±(0.8+0.01H)μm

 

残值表面

≤0.005μm

 

示值偏差

≤±(5nm+0.1A)

 

示值波动性

≤±7%

 

反复性

1δ≤2nm

 

角度

≤±1′

 

圆弧

（R=尺度圆弧值）

≤±(1.0+R/12)μm

X轴驱动器

直线度

1.8μm /200mm

 

辨别率

0.05μm

Z1传感器

表面/粗度共用

范例

光栅传感器

 

辨别率

0.01μm

 

表面/粗度共用测针

25μm  12°

 

测针材质

硬质合金

 

粗度公用测针

2μm  60°

 

测针材质

金刚石

评定长度

λc×3、4、5、6、7

停止波长

0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm

丈量方法

传感器挪动

活动控制

导轨速率

0.02mm至6mm/s

 

立柱挪动速率

0.1mm至10mm/s

 

丈量速率

0.02mm至5.0mm/s