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项目  Item

参数 Parameter

丈量范畴

Measurement range

X轴axis

100mm

Z1（传感器）Sensor

40mm

高度Height

400mm

丈量精度

Measurement Accuracy

X轴

（L=X轴挪动导轨间隔）

(L=X moving distance)

±（1.5 +0.2L/100）μm

Z1轴

（H=Z1轴偏向丈量高度）

(H=Z1meas. Height)

±（1.2+0.3H/100）μm

角度

≤±2′

半径R≤10mm

±1.5μm

X轴

X

直线度Straightness

0.8μm /100mm

辨别率Resolution

0.2μm

产地Origin

美国MicroE （America）

传感器

Sensor

范例 Type

光栅传感器 Digital grating sensor

辨别率Resolution

0.1μm

产地Origin

美国MicroE （America）

爬坡角度Climbing Ability

上升77°（Upside）， 降落88°（Downside）

丈量速率Meas. Speed

0.02mm至4.0mm/s

丈量方法Meas. Mode

传感器挪动Sensor moving

电源Power

AC 220V±10%  50Hz

情况要求Environmental conditions

温度(T)：10～30℃；绝对湿度(RH)：＜85%