产品设置装备摆设
技能参数
序号
内容

主机仪器架# 一体式人体工学机台# 直线导轨驱动器# 电动立柱# 光栅传感器# 程度调解体系（表面尺寸：250*180*40mm；调解范畴：15mm）# 反转展转及角度调试体系（360度旋转；±25角度倾斜）# 平口装夹体系 （闭口宽：50mm；闭口深25mm）# 校正尺度件（Ф3*21mm R25μm 12°单切面测针；Φ8*150mm 测杆）# 电器控制体系# 品牌电脑# HP喷墨打印机# 丈量软件# 利用阐明书# 产品保修卡# 产品装箱单# 及格证# 设置装备摆设验收单# 东西箱

项目

参数

丈量范畴

X轴驱动器

100mm

 

Z1（传感器）

30mm

 

立柱行程

450mm

指示精度

X轴

（L=X轴挪动导轨间隔）

±(1.2+0.02L)μm

 

Z1轴

（H=Z1轴偏向丈量高度）

±(1.0+0.05H)μm

 

角度

≤±1′

 

圆弧

（R=尺度圆弧值）

≤±(1.2+R/12)μm

X轴

直线度

1.0μm /100mm

 

辨别率

0.1μm

传感器

范例 

光栅传感器

 

辨别率

0.1μm

 

测针外形

25μm  12°

 

测针材质

硬质合金

丈量方法

传感器挪动

活动控制

导轨速率

0.02mm至6mm/s

 

立柱挪动速率

0.1mm至10mm/s

 

丈量速率

0.02mm至5.0mm/s