项目 Item | 参数 Parameter |
丈量范畴 measuring range | 最大直径 Max. dia. | ф300mm |
最小内径 Min. inner dia | ф5mm |
最大高度 Max height | 420mm |
主轴精度 Spindle accuracy | 径向偏差 Radial error | ±(0.025+5H/10000)μm |
轴向偏差 Axial error | ±(0.025+6X/10000)μm |
反转展转轴线与Z轴导轨平行度 Parallelism between Rotary Axis and Z-Axis Guideway | 1.2μm/200mm（母线基准） |
事情台 Workbench | 台面直径Table dia. | φ160mm |
反转展转直径Rotation dia. | φ400mm |
承载分量Load Wt. | 30Kg |
调解范畴 Adjustment range | 调偏爱±3mm ; 调程度±2° Adjust the eccentricity ±3mm; adjust the level ±1° |
旋转速率spinning speed | 0-12 rpm |
立柱 | 直线度（窄范畴） | 0.3μm /100mm |
直线度（全范畴） | 0.8μm /300mm |
程度臂 Horizontal arm | 程度挪动间隔 Horizontal moving distance | 160mm |
挪动速率Moving speed | 0.5-6mm/s 或手动 0.5-6mm/s or manual |
传感器 sensor | 量程range | 500μm (半径差) 500μm (radius difference) |
辨别率Resolution | 0.005μm |
测针外形 Stylus shape | φ2x10mm、φ1x10mm、φ0.5x10mm 红宝石球测头各一个 |
测力 Force measurement | 1-12g |
数据收罗 Data acquisition | 入口光栅14400点/周 Imported grating 14400 points/cycle |
缩小倍率 Magnification | 恣意至最大20万倍 Arbitrary to maximum 200,000 times |
气源压力Air Source | 0.45～0.80Mpa |
气源流量Air consumption | ≥0.2 m³/min |
电源Power | AC 220V±10% 50Hz |
情况要求Environmental conditions | 温度(T)：10～30℃；绝对湿度(RH)：＜85% |
