产品设置装备摆设
技能参数
序号
内容

主机仪器架# 大理石匠作台面# 高精细气浮主轴# 气浮立柱体系# 横导轨挪动安装# 调心调平事情台（台面直径Ф200mm、台面高度70mm；调解范畴：调偏爱±2mm ; 调程度±1°）# 精细三爪卡盘（外尺寸装夹范畴：Ф1 mm ~~Ф81mm；内尺寸装夹范畴：Ф31 mm ~~~Ф70 mm）# 氛围过滤体系# 电器控制体系# 圆光栅编码器# 电感传感器# Ф1x10mm# Ф2x10mm# 产业控制盘算机# HP喷墨打印机# 丈量软件# 椭圆尺度件# 圆柱尺度器# 利用阐明书# 产品保修卡# 产品装箱单# 及格证# 设置装备摆设验收单# 东西箱

项目

参数

丈量范畴

最大直径

ф400mm

 

最小内径

ф3mm

 

最大高度

550mm

主轴精度

径向偏差

±(0.025+5H/10000)μm

 

轴向偏差

±(0.025+6X/10000)μm

反转展转轴线与Z轴导轨平行度

2μm/400mm（母线基准）

事情台

台面直径

φ200mm

 

反转展转直径

φ420mm

 

承载分量

60Kg

 

调解范畴

调偏爱±2mm ;调程度±1°

 

旋转速率

0-12 rpm（可调）

立柱

直线度（窄范畴）

0.5μm /100mm

 

直线度（全范畴）

0.8μm /400mm

程度臂

程度挪动间隔

180mm

 

挪动速率

0.5-6mm/s或手动

传感器

量程

500μm (半径差)  

 

辨别率

0.005μm

 

测针外形

红宝石球测头（直径2mm）

 

传感器偏向/调解角度

两边向/±45°

数据收罗

入口光栅14400点/周

缩小倍率

恣意至最大20万倍